ATBECHDEDKESFRGBGRITLILUNLSEMCPTIESILTLVFIRO..CY..TRBGCZEEHUPLSK....IS..............................JDIM360 Ver 2.15 (14 Jul 2008) - 2999001/01703547FASCICULE DE BREVET EUROPEEN CORRIGEB8B120120314W173deBibliographieenBibliographyfrBibliographieEP06300207.5200603072008101020090429frfrfr055070320050318FR2012031420121120060920200638201109142011372011031620110914AT20110914FI20111215GR20110914LT20110914LV20110914SE20110914SI20120314201211H01L 21/00 20060101AFI20060405BHEP deVerfahren und Vorrichtung zur Kontrolle der Verunreinigung von WafersubstratenenMethod and device for controlling the contamination of wafer substratesfrProcédé et dispositif pour le contrôle de la contamination des plaquettes de substratDE-A1- 10 133 520US-A- 5 233 191US-A1- 2004 023 419US-B1- 6 287 023Favre, Arnaud 17bis, avenue de Novel74000, ANNECYFRThollot, Rémi 196, rue du Mont Blanc74350, CRUSEILLESFRMetais, Xavier3, rue Fançois Vernex74960 MeythetFRDesbiolles, Jean-Pierre Les Follats74350, CRUSEILLESFRAdixen Vacuum Products101253024F°105954/MAH/TP98 Avenue de Brogny74009 AnnecyFRCroonenbroek, Thomas Jakob100820365Cabinet Innovincia 11, avenue des Tilleuls74200 Thonon-les-BainsFRATBEBGCHCYCZDEDKEEESFIFRGBGRHUIEISITLILTLULVMCNLPLPTROSESISKTR20080820200834