(19)
(11) EP 1 706 901 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
04.10.2006  Patentblatt  2006/40

(21) Anmeldenummer: 05706945.2

(22) Anmeldetag:  21.01.2005
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/74(2006.01)
 H01L 21/62(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2005/000571
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2005/071737 (04.08.2005 Gazette  2005/31)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE FR

(30) Priorität: 23.01.2004 DE 102004004512

(71) Anmelder: ATMEL Germany GmbH
74072 Heilbronn (DE)

(72) Erfinder:
  • DUDEK, Volker
    74336 Brackenheim (DE)

   


(54) INTEGRIERTE SCHALTUNG MIT LATERALER DIELEKTRISCHER ISOLATION AKTIVER BEREICHE ÜBER ELEKTRISCH KONTAKTIERTEM VERGRABENEM MATERIAL UND HERSTELLUNGSVERFAHREN