(19)
(11) EP 1 706 902 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
02.03.2006

(43) Veröffentlichungstag:
04.10.2006  Patentblatt  2006/40

(21) Anmeldenummer: 05714893.4

(22) Anmeldetag:  22.01.2005
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/768(2006.01)
H01L 21/316(2006.01)
 H01L 21/76(2006.01)
C23C 16/40(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2005/000088
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2005/071739 (04.08.2005 Gazette  2005/31)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL BA HR LV MK YU

(30) Priorität: 22.01.2004 DE 102004003337

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81669 München (DE)

(72) Erfinder:
  • GABRIC, Zvonimir
    85604 Zorneding (DE)
  • PAMLER, Werner
    80686 München (DE)
  • SCHINDLER, Günther
    80802 München (DE)

(74) Vertreter: Viering, Jentschura & Partner 
Steinsdorfstrasse 6
80538 München
80538 München (DE)

   


(54) PLASMAANGEREGTES CHEMISCHES GASPHASENABSCHEIDE-VERFAHREN, SILIZIUM-SAUERSTOFF-STICKSTOFF-HALTIGES MATERIAL UND SCHICHT-ANORDNUNG