(19)
(11) EP 1 709 691 B8

(12) KORRIGIERTE EUROPÄISCHE PATENTSCHRIFT
Hinweis: Bibliographie entspricht dem neuesten Stand

(15) Korrekturinformation:
Korrigierte Fassung Nr.  1 (W1 B1)

(48) Corrigendum ausgegeben am:
15.10.2008  Patentblatt  2008/42

(45) Hinweis auf die Patenterteilung:
23.07.2008  Patentblatt  2008/30

(21) Anmeldenummer: 05700978.9

(22) Anmeldetag:  17.01.2005
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 31/10(2006.01)
H01L 29/76(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2005/000402
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2005/074012 (11.08.2005 Gazette  2005/32)

(54)

HALBLEITERSTRUKTUR

SEMICONDUCTOR STRUCTURE

STRUCTURE A SEMI-CONDUCTEUR


(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 28.01.2004 DE 102004004283

(43) Veröffentlichungstag der Anmeldung:
11.10.2006  Patentblatt  2006/41

(73) Patentinhaber: Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V.
80539 München (DE)

(72) Erfinder:
  • LECHNER, Peter
    83607 Holzkirchen (DE)
  • LUTZ, Gerhard
    81739 München (DE)
  • RICHTER, Rainer
    81243 München (DE)
  • STRÜDER, Lothar
    80803 München (DE)

(74) Vertreter: Beier, Ralph 
v. Bezold & Partner Patentanwälte Akademiestrasse 7
80799 München
80799 München (DE)


(56) Entgegenhaltungen: : 
US-A- 5 786 609
   
  • NEESER W ET AL: "DEPFET-a pixel device with integrated amplification" NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH, SECTION - A: ACCELERATORS, SPECTROMETERS, DETECTORS AND ASSOCIATED EQUIPMENT, NORTH-HOLLAND PUBLISHING COMPANY. AMSTERDAM, NL, Bd. 477, Nr. 1-3, 21. Januar 2002 (2002-01-21), Seiten 129-136, XP004345526 ISSN: 0168-9002
  • FISCHER P ET AL: "First operation of a pixel imaging matrix based on DEPFET pixels" NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH, SECTION - A: ACCELERATORS, SPECTROMETERS, DETECTORS AND ASSOCIATED EQUIPMENT, NORTH-HOLLAND PUBLISHING COMPANY. AMSTERDAM, NL, Bd. 451, Nr. 3, 11. September 2000 (2000-09-11), Seiten 651-656, XP004208738 ISSN: 0168-9002
  • ULRICI J ET AL: "Spectroscopic and imaging performance of DEPFET pixel sensors" NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH, SECTION - A: ACCELERATORS, SPECTROMETERS, DETECTORS AND ASSOCIATED EQUIPMENT, NORTH-HOLLAND PUBLISHING COMPANY. AMSTERDAM, NL, Bd. 465, Nr. 1, 1. Juni 2001 (2001-06-01), Seiten 247-252, XP004246811 ISSN: 0168-9002
   
Anmerkung: Innerhalb von neun Monaten nach der Bekanntmachung des Hinweises auf die Erteilung des europäischen Patents kann jedermann beim Europäischen Patentamt gegen das erteilte europäischen Patent Einspruch einlegen. Der Einspruch ist schriftlich einzureichen und zu begründen. Er gilt erst als eingelegt, wenn die Einspruchsgebühr entrichtet worden ist. (Art. 99(1) Europäisches Patentübereinkommen).