(19)
(11) EP 1 711 964 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
18.10.2006  Patentblatt  2006/42

(21) Anmeldenummer: 05714886.8

(22) Anmeldetag:  21.01.2005
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 29/12(2006.01)
H01L 29/772(2006.01)
H01L 33/00(2006.01)
 H01L 29/88(2006.01)
H01L 21/335(2006.01)
H01S 5/34(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2005/000080
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2005/076363 (18.08.2005 Gazette  2005/33)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 03.02.2004 DE 102004005363

(71) Anmelder: Forschungszentrum Jülich GmbH
52425 Jülich (DE)

(72) Erfinder:
  • INDLEKOFER, Michael
    52078 Aachen (DE)
  • LÜTH, Hans
    52076 Aachen (DE)
  • FÖRSTER, Arnold
    52152 Simmerath (DE)

   


(54) HALBLEITER-STRUKTUR