(19)
(11) EP 1 719 144 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
08.11.2006  Patentblatt  2006/45

(21) Anmeldenummer: 05715021.1

(22) Anmeldetag:  25.02.2005
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01H 59/00(2006.01)
 H01P 1/12(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2005/000317
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2005/083734 (09.09.2005 Gazette  2005/36)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 27.02.2004 DE 102004010150

(71) Anmelder: EADS Deutschland GmbH
85521 Ottobrunn (DE)

(72) Erfinder:
  • PRECHTEL, Ulrich
    81735 München (DE)
  • ZIEGLER, Volker
    85579 Neubiberg (DE)

(74) Vertreter: Willems, Volker 
EADS Deutschland GmbH Patentabteilung
81663 München
81663 München (DE)

   


(54) HOCHFREQUENZ-MEMS-SCHALTER MIT GEBOGENEM SCHALTELEMENT UND VERFAHREN ZU SEINER HERSTELLUNG