(19)
(11) EP 1 721 217 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
01.12.2005

(43) Veröffentlichungstag:
15.11.2006  Patentblatt  2006/46

(21) Anmeldenummer: 05707555.8

(22) Anmeldetag:  22.02.2005
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G03F 7/20(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2005/001797
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2005/083511 (09.09.2005 Gazette  2005/36)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE NL

(30) Priorität: 26.02.2004 DE 102004009239

(71) Anmelder: Carl Zeiss SMT AG
73447 Oberkochen (DE)

(72) Erfinder:
  • DIECKMANN, Nils
    73460 Hüttlingen (DE)
  • MAUL, Manfred
    73434 Aalen (DE)
  • FIOLKA, Damian
    73447 Oberkochen (DE)

(74) Vertreter: Lorenz, Markus 
Lorenz & Kollegen Alte Ulmer Strasse 2
89522 Heidenheim
89522 Heidenheim (DE)

   


(54) SYSTEM ZUR REDUZIERUNG DER KOHÄRENZ EINER LASERSTRAHLUNG