(19)

(11)

EP 1 721 219 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 13.04.2006 (43) Veröffentlichungstag: 15.11.2006  Patentblatt  2006/46 (21) Anmeldenummer: 05715516.0 (22) Anmeldetag:  24.02.2005

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  G03F 7/20(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2005/001948 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2005/083517 (09.09.2005 Gazette  2005/36)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL BA HR LV MK YU (30) Priorität: 26.02.2004 DE 102004010569 (71) Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 73447 Oberkochen (DE)	(72) Erfinder: FIOLKA, Damian 73447 Oberkochen (DE) ZENZINGER, Markus 89073 Ulm (DE) (74) Vertreter: Patentanwälte Ruff, Wilhelm, Beier, Dauster & Partner  Postfach 10 40 36 70035 Stuttgart 70035 Stuttgart (DE)