(19)

(11)

EP 1 721 333 A1

(12)

(43) Date de publication: 15.11.2006  Bulletin  2006/46 (21) Numéro de dépôt: 05737045.4 (22) Date de dépôt:  07.03.2005

(51) Int. Cl.:  H01L 21/762(2006.01) (86) Numéro de dépôt: PCT/FR2005/000542 (87) Numéro de publication internationale: WO 2005/086227 (15.09.2005 Gazette  2005/37)

(84) Etats contractants désignés: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR (30) Priorité: 05.03.2004 FR 0402340 21.09.2004 FR 0409980 (71) Demandeur: S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies 38190 Bernin (FR)	(72) Inventeurs: DAVAL, Nicolas F-38000 Grenoble (FR) AKATSU, Takeshi F-38330 Saint Nazaire Les Eymes (FR) NGUYEN, Nguyet-Phuong F-38100 Grenoble, (FR) RAYSSAC, Olivier F-38000 Grenoble (FR) BOURDELLE, Konstantin F-38920 CROLLES (FR) (74) Mandataire: Le Forestier, Eric et al Cabinet Régimbeau 20, rue de Chazelles F-75847 Paris Cedex 17 F-75847 Paris Cedex 17 (FR)