(19)
(11) EP 1 722 901 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
22.11.2006  Patentblatt  2006/47

(21) Anmeldenummer: 05701389.8

(22) Anmeldetag:  09.02.2005
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
B08B 7/00(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2005/001301
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2005/084830 (15.09.2005 Gazette  2005/37)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
CH DE GB IT LI

(30) Priorität: 02.03.2004 EP 04004892

(71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
80333 München (DE)

(72) Erfinder:
  • KRÜGER, Ursus
    14089 Berlin (DE)
  • REICHE, Ralph
    13465 Berlin (DE)
  • STEINBACH, Jan
    13353 Berlin (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR PLASMAREINIGUNG EINES BAUTEILS