(19)

(11)

EP 1 723 669 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 22.11.2006  Patentblatt  2006/47 (21) Anmeldenummer: 05716998.9 (22) Anmeldetag:  10.03.2005

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/84(2006.01) H01L 21/8247(2006.01) H01L 27/115(2006.01) H01L 27/12(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2005/051099 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2005/088705 (22.09.2005 Gazette  2005/38)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR (30) Priorität: 11.03.2004 DE 102004011858 (71) Anmelder: X-FAB Semiconductor Foundries AG 99097 Erfurt (DE)	(72) Erfinder: RICHTER, Steffen 99192 Apfelstaedt (DE) RICHTER, Sonja 98693 Ilmenau (DE) NUERNBERGK, Dirk 99084 Erfurt (DE) KIRSTEN, Dagmar 98693 Ilmenau (DE) (74) Vertreter: Leonhard, Frank Reimund et al Leonhard - Olgemöller - Fricke Patentanwälte Postfach 10 09 62 80083 München 80083 München (DE)