(19)
(11)
EP 1 723 680 A1
(12)
(43)
Veröffentlichungstag:
22.11.2006
Patentblatt 2006/47
(21)
Anmeldenummer:
05717007.8
(22)
Anmeldetag:
11.03.2005
(51)
Internationale Patentklassifikation (IPC):
H01L
29/861
(2006.01)
H01L
21/04
(2006.01)
(86)
Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2005/051111
(87)
Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2005/088728
(
22.09.2005
Gazette 2005/38)
(84)
Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR
(30)
Priorität:
11.03.2004
DE 102004012047
(71)
Anmelder:
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
80333 München (DE)
(72)
Erfinder:
BARTSCH, Wolfgang
91054 Erlangen (DE)
MITLEHNER, Heinz
91080 Uttenreuth (DE)
(54)
PN-DIODE AUF DER BASIS VON SILICIUMCARBID UND VERFAHREN ZU DEREN HERSTELLUNG