(19)

(11)

EP 1 726 039 A1

(12)

(43) Date de publication: 29.11.2006  Bulletin  2006/48 (21) Numéro de dépôt: 05737041.3 (22) Date de dépôt:  07.03.2005

(51) Int. Cl.:  H01L 21/762(2006.01) (86) Numéro de dépôt: PCT/FR2005/000543 (87) Numéro de publication internationale: WO 2005/086228 (15.09.2005 Gazette  2005/37)

(84) Etats contractants désignés: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR (30) Priorité: 05.03.2004 FR 0402340 (71) Demandeur: S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies 38190 Bernin (FR)	(72) Inventeurs: AKATSU, Takeshi F-38330 Saint Nazaire Les Eymes (FR) DAVAL, Nicolas F-38000 Grenoble (FR) NGUYEN, Nguyet-Phuong F-38100 Grenoble (FR) BOURDELLE, Konstantin F-38920 Crolles (FR) (74) Mandataire: Callon de Lamarck, Jean-Robert et al Cabinet Régimbeau 20, rue de Chazelles 75847 Paris cedex 17 75847 Paris cedex 17 (FR)