(19)
(11) EP 1 727 924 A1

(12)

(43) Date de publication:
06.12.2006  Bulletin  2006/49

(21) Numéro de dépôt: 05728585.0

(22) Date de dépôt:  22.03.2005
(51) Int. Cl.: 
C23C 14/35(2006.01)
H01J 37/34(2006.01)
(86) Numéro de dépôt:
PCT/BE2005/000038
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2005/090632 (29.09.2005 Gazette  2005/39)
(84) Etats contractants désignés:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorité: 22.03.2004 EP 04447072

(71) Demandeurs:
  • Materia Nova A.S.B.L
    7000 Mons (BE)
  • Centre National de la Recherche Scientifique
    Meudon (FR)
  • Universite Paris-Sud
    91405 Orsay (FR)

(72) Inventeurs:
  • GANCIU-PETCU, Mihai
    R-COD 76451 BUCHAREST (RO)
  • HECQ, Michel
    B-7000 MONS (BE)
  • DAUCHOT, Jean-Pierre
    B-1180 BRUXELLES (BE)
  • KONSTANTINIDIS, Stephanos
    B-7000 MONS (BE)
  • BRETAGNE, Jean
    F-91470 LIMOURS (FR)
  • DE POUCQUES, Ludovic
    F-91290 ARPAJON (FR)
  • TOUZEAU, Michel
    F-91400 ORSAY (FR)

(74) Mandataire: Van Malderen, Joëlle 
pronovem - Office Van Malderen Avenue Josse Goffin 158
1082 Bruxelles
1082 Bruxelles (BE)

   


(54) DEPOT PAR PULVERISATION CATHODIQUE MAGNETRON EN REGIME IMPULSIONNEL AVEC PREIONISATION