(19)
(11) EP 1 728 045 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
06.12.2006  Patentblatt  2006/49

(21) Anmeldenummer: 05715081.5

(22) Anmeldetag:  10.03.2005
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G01B 9/02(2006.01)
G01N 21/47(2006.01)
G01B 11/24(2006.01)
A61B 5/00(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2005/000417
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2005/088241 (22.09.2005 Gazette  2005/38)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 13.03.2004 DE 102004012426

(71) Anmelder: Knüttel, Alexander
69488 Birkenau (DE)

(72) Erfinder:
  • Knüttel, Alexander
    69488 Birkenau (DE)

(74) Vertreter: Pfeifer, Hans-Peter et al
Durm & Partner Patentanwälte Beiertheimer Allee 19
76137 Karlsruhe
76137 Karlsruhe (DE)

   


(54) NIEDERKOHÄRENZ-INTERFEROMETRISCHES VERFAHREN UND GERÄT ZUR LICHTOPTISCHEN ABTASTUNG VON OBERFLÄCHEN