ATBECHDEDKESFRGBGRITLILUNLSEMCPTIESILTLVFIROMKCYALTRBGCZEEHUPLSKBAHRISYU........*XDIM360 (Ver 1.5 21 Nov 2005) - 1100000/01730597A220061213EP05729571.920050304enenen10200401135520040305DE550302 P20040305US10200401135620040305DE2006121320065020061213200650G03F 7/20 20060101AFI20051006BHEP G01M 11/00 20060101ALI20051006BHEP deVERFAHREN ZUR HERSTELLUNG REFLEKTIERENDER OPTISCHER ELEMENTE, REFLEKTIERENDE OPTISCHE ELEMENTE, EUV-LITHOGRAPHIEVORRICHTUNGEN UND -VERFAHREN ZUM BETREIBEN VON OPTISCHEN ELEMENTEN UND EUV-LITHOGRAPHIEVORRICHTUNGEN, VERFAHREN ZUR BESTIMMUNG DER PHASENVERSCHIEBUNG, VERFAHREN ZUR BESTIMMUNG DER SCHICHTDICKE UND VORRICHTUNGEN ZUM AUSFÜHRENenMETHODS FOR MANUFACTURING REFLECTIVE OPTICAL ELEMENTS, REFLECTIVE OPTICAL ELEMENTS, EUV-LITHOGRAPHY APPARATUSES AND METHODS FOR OPERATING OPTICAL ELEMENTS AND EUV-LITHOGRAPHY APPARATUSES, METHODS FOR DETERMINING THE PHASE SHIFT, METHODS FOR DETERMINING THE LAYER THICKNESS, AND APPARATUSES FOR CARRYIfrPROCEDES DE FABRICATION D'ELEMENTS OPTIQUES REFLECTEURS, ELEMENTS OPTIQUES REFLECTEURS, APPAREIL DE LITHOGRAVURE AUX UV EXTREMES ET PROCEDES DE MISE EN OEUVRE D'ELEMENTS OPTIQUES ET D'APPAREILS DE LITHOGRAVURE AUX UV EXTREMES, PROCEDES POUR DETERMINER LE DEPHASAGE, PROCEDES POUR DETERMINER L'EPAISSECarl Zeiss SMT AG0428843005028 P WOCarl-Zeiss-Strasse 2273447 OberkochenDEWEDOWSKI, MarcoOtto-Schott-Strasse 1573431 AalenDESCHOLZE, FrankRapunzelstrasse 4112524 BerlinDETÜMMLER, JohannesSemmelweisstrasse 15a12524 BerlinDESchultz, Jörg Martinet al00133421Carl Zeiss AG Patentabteilung73446 OberkochenDEATBEBGCHCYCZDEDKEEESFIFRGBGRHUIEISITLILTLUMCNLPLPTROSESISKTRALBAHRLVMKYUEP200505098520050304enWO200509107620050929200539