(19)
(11) EP 1 732 129 B8

(12) KORRIGIERTE EUROPÄISCHE PATENTSCHRIFT
Hinweis: Bibliographie entspricht dem neuesten Stand

(15) Korrekturinformation:
Korrigierte Fassung Nr.  1 (W1 B1)

(48) Corrigendum ausgegeben am:
09.04.2014  Patentblatt  2014/15

(45) Hinweis auf die Patenterteilung:
12.02.2014  Patentblatt  2014/07

(21) Anmeldenummer: 06011125.9

(22) Anmeldetag:  30.05.2006
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 23/34(2006.01)
C23C 14/30(2006.01)
 C23C 14/24(2006.01)
C30B 23/06(2006.01)

(54)

Hochtemperatur-Verdampferzelle und Verfahren zur Verdampfung hochschmelzender Materialien

High temperature evaporator cell and method of evaporating high-melting materials

Cellule d'évaporation à haute température et procédé d'evaporation des materiaux à point de fusion élévés

(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 06.06.2005 DE 102005025935

(43) Veröffentlichungstag der Anmeldung:
13.12.2006  Patentblatt  2006/50

(73) Patentinhaber:
  • CreaTec Fischer & Co. GmbH
    74391 Erligheim (DE)
  • Forschungsverbund Berlin e.V.
    12489 Berlin (DE)

(72) Erfinder:
  • Braun, Wolfgang
    13349 Berlin (DE)
  • Fischer, Albrecht
    74369 Löchgau (DE)

(74) Vertreter: Hertz, Oliver 
v. Bezold & Partner Patentanwälte Akademiestrasse 7
80799 München
80799 München (DE)


(56) Entgegenhaltungen: : 
EP-A- 0 803 893
JP-A- 2005 194 552
 DE-A1- 4 106 579
US-A- 5 522 955
   
       
    Anmerkung: Innerhalb von neun Monaten nach der Bekanntmachung des Hinweises auf die Erteilung des europäischen Patents kann jedermann beim Europäischen Patentamt gegen das erteilte europäischen Patent Einspruch einlegen. Der Einspruch ist schriftlich einzureichen und zu begründen. Er gilt erst als eingelegt, wenn die Einspruchsgebühr entrichtet worden ist. (Art. 99(1) Europäisches Patentübereinkommen).