(19)
(11) EP 1 735 663 A1

(12)

(43) Date de publication:
27.12.2006  Bulletin  2006/52

(21) Numéro de dépôt: 04742463.5

(22) Date de dépôt:  08.04.2004
(51) Int. Cl.: 
G03F 7/004(2006.01)
(86) Numéro de dépôt:
PCT/FR2004/000876
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2005/109097 (17.11.2005 Gazette  2005/46)
(84) Etats contractants désignés:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR

(71) Demandeurs:
  • Université Louis Pasteur, (Etablissement public à caractère scientifique, culturel et professionnel)
    F-67000 Strasbourg (FR)
  • Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS) Etablissement Public à Caractère Scientifique et Technologique
    75016 Paris (FR)

(72) Inventeurs:
  • REHSPRINGER, Jean-Luc
    F-67380 Lingolsheim (FR)
  • BEDEL, Laurent
    F-67400 Illkirch-Graffenstaden (FR)

(74) Mandataire: Nuss, Pierre et al
Cabinet Nuss 10, rue Jacques Kablé
67080 Strasbourg Cédex
67080 Strasbourg Cédex (FR)

   


(54) PROCEDE DE LITHOGRAPHIE, PRODUITS OBTENUS ET UTILISATION DUDIT PROCEDE