(19)
(11) EP 1 735 827 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
27.12.2006  Patentblatt  2006/52

(21) Anmeldenummer: 05732412.1

(22) Anmeldetag:  07.04.2005
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/762(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2005/000618
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2005/098936 (20.10.2005 Gazette  2005/42)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 07.04.2004 DE 102004017073

(71) Anmelder: X-FAB Semiconductor Foundries AG
99097 Erfurt (DE)

(72) Erfinder:
  • LERNER, Ralf
    99085 Erfurt (DE)
  • ECKOLDT, Uwe
    99448 Hohenfelden (DE)
  • OETZEL, Thomas
    58644 Iserlohn (DE)

(74) Vertreter: Olgemöller, Luitgard Maria et al
Leonhard - Olgemöller - Fricke, Patentanwälte, Postfach 10 09 62
80083 München
80083 München (DE)

   


(54) ERZEUGUNG VON DIELEKTRISCH ISOLIERENDEN GRAEBEN DER SOI-TECHNOLOGIE MIT ABGERUNDETEN KANTEN FUER HOEHERE SPANNUNGEN