(19)
(11) EP 1 735 828 A1

(12)

(43) Date de publication:
27.12.2006  Bulletin  2006/52

(21) Numéro de dépôt: 05744615.5

(22) Date de dépôt:  25.03.2005
(51) Int. Cl.: 
H01L 21/762(2006.01)
(86) Numéro de dépôt:
PCT/FR2005/000719
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2005/093823 (06.10.2005 Gazette  2005/40)
(84) Etats contractants désignés:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorité: 25.03.2004 FR 0403071

(71) Demandeurs:
  • COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
    75015 Paris (FR)
  • UNIVERSITE JOSEPH FOURIER
    38041 Grenoble Cédex 9 (FR)

(72) Inventeurs:
  • DELEONIBUS, Simon
    F-38640 Claix (FR)
  • DENEUVILLE, Alain
    F-38120 Saint-Egrève (FR)

(74) Mandataire: Jouvray, Marie-Andrée et al
Cabinet Hecké, World Trade Center - Europole, 5, place Robert Schuman, B.P. 1537
38025 Grenoble Cedex 1
38025 Grenoble Cedex 1 (FR)

   


(54) SUBSTRAT DE TYPE SEMI-CONDUCTEUR SUR ISOLANT COMPORTANT UNE COUCHE ENTERREE EN CARBONE DIAMANT ET PROCEDE DE REALISATION D'UN TEL SUBSTRAT