(57) Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Handhaben und Prüfen von Werkstücken, insbesondere
von dünnen, plattenartigen Prüfsubstraten (100), wobei das Prüfsubstrat (100) zur
Erkennung von Fehlern und/oder Beschädigungen in einer Prüfoperation (2) einer Schallprüfung
unterzogen wird, wobei das Prüfsubstrat (100) in Schwingung versetzt wird und Schall,
welcher vom Prüfsubstrat (100) abgegeben wird, mittels einem Schallsensor (11) gemessen,
und ein Messsignal einer Signalauswerteeinrichtung zugeführt und ausgewertet wird,
wobei das Prüfsubstrat (100) zumindest einer weiteren Prüf- und/oder Sortieroperation
(3, 4) zur Prüfung zumindest eines weiteren Prüfkriteriums und/oder zur Ermittlung
zumindest eines Sortierkriteriums unterzogen wird sowie eine Vorrichtung zum Durchführen
des Verfahrens.
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