|
(11) | EP 1 738 144 A1 |
(12) |
|
|
|
|
|||||||||||||||
(54) | FOURIER-SPEKTROMETER MIT EINEM AUF EINEM SUBSTRAT INTEGRIERTEM MODULIERBAREN SPIEGEL UND SENSOR ZUR ABTASTUNG STEHENDER WELLEN UND VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG |