(19)
(11) EP 1 738 144 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
03.01.2007  Patentblatt  2007/01

(21) Anmeldenummer: 05744320.2

(22) Anmeldetag:  20.04.2005
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G01J 3/453(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2005/000725
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2005/103635 (03.11.2005 Gazette  2005/44)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 22.04.2004 DE 102004019570

(71) Anmelder: Forschungszentrum Jülich GmbH
52425 Jülich (DE)

(72) Erfinder:
  • KNIPP, Dietmar
    28219 Bremen (DE)
  • STIEBIG, Helmut
    52382 Niederzier (DE)

   


(54) FOURIER-SPEKTROMETER MIT EINEM AUF EINEM SUBSTRAT INTEGRIERTEM MODULIERBAREN SPIEGEL UND SENSOR ZUR ABTASTUNG STEHENDER WELLEN UND VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG