(19)

(11)

EP 1 738 227 A2

(12)

(88) Date de publication A3: 14.09.2006 (43) Date de publication: 03.01.2007  Bulletin  2007/01 (21) Numéro de dépôt: 05762341.5 (22) Date de dépôt:  22.04.2005

(51) Int. Cl.:  G03F 7/20(2006.01) G03F 7/00(2006.01) (86) Numéro de dépôt: PCT/FR2005/001001 (87) Numéro de publication internationale: WO 2005/105662 (10.11.2005 Gazette  2005/45)

(84) Etats contractants désignés: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR Etats d'extension désignés: AL BA HR LV MK YU (30) Priorité: 23.04.2004 FR 0404332 (71) Demandeur: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 75015 Paris (FR)	(72) Inventeurs: HUBERT, Christophe F-10000 Troyes (FR) FIORINI-DEBUISSCHERT, Céline F-91400 Orsay (FR) NUNZI, Jean-Michel F-49610 Mûrs Erigné (FR) (74) Mandataire: Texier, Christian et al Cabinet Régimbeau 20, rue de Chazelles 75847 Paris cedex 17 75847 Paris cedex 17 (FR)