(19)
(11) EP 1 738 401 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
29.06.2006

(43) Veröffentlichungstag:
03.01.2007  Patentblatt  2007/01

(21) Anmeldenummer: 05731754.7

(22) Anmeldetag:  01.04.2005
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/00(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2005/051493
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2005/101459 (27.10.2005 Gazette  2005/43)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL BA HR LV MK YU

(30) Priorität: 15.04.2004 DE 102004018249

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81669 München (DE)

(72) Erfinder:
  • BRADL, Stephan
    93096 Köfering (DE)
  • GROMMES, Walther
    82041 Furth/Oberhaching (DE)
  • KRÖNINGER, Werner
    94474 Albersdorf (DE)
  • MELZL, Michael
    93073 Neutraubling (DE)
  • SCHWAIGER, Josef
    93356 Teugn (DE)
  • STACHE, Thilo
    93059 Regensburg (DE)

(74) Vertreter: Kindermann, Peter 
Kindermann Patentanwälte Postfach 100234
85593 Baldham
85593 Baldham (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUM BEARBEITEN EINES WERKSTÜCKS AN EINEM WERKSTÜCKTRÄGER