(19)

(11)

EP 1 738 406 A1

(12)

(43) Date de publication: 03.01.2007  Bulletin  2007/01 (21) Numéro de dépôt: 05747082.5 (22) Date de dépôt:  21.04.2005

(51) Int. Cl.:  H01L 21/368(2006.01) (86) Numéro de dépôt: PCT/FR2005/050268 (87) Numéro de publication internationale: WO 2005/106941 (10.11.2005 Gazette  2005/45)

(84) Etats contractants désignés: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR (30) Priorité: 22.04.2004 FR 0450762 (71) Demandeur: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 75015 Paris (FR)	(72) Inventeurs: PRENE, Philippe F-37200 Tours (FR) BELLEVILLE, Philippe F-37000 Tours (FR) DECLERCK, Pélagie F-37510 Ballan-Mire (FR) (74) Mandataire: Poulin, Gérard et al Brevatome 3, rue du Docteur Lancereaux 75008 Paris 75008 Paris (FR)