(19)

(11)

EP 1 740 903 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 16.03.2006 (43) Veröffentlichungstag: 10.01.2007  Patentblatt  2007/02 (21) Anmeldenummer: 05734110.9 (22) Anmeldetag:  19.04.2005

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  G01B 7/00(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2005/004170 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2005/100907 (27.10.2005 Gazette  2005/43)

(84) Benannte Vertragsstaaten: DE ES FR GB IT (30) Priorität: 19.04.2004 DE 102004018818 (71) Anmelder: ASM AUTOMATION, SENSORIK, MESSTECHNIK GMBH D-85452 Moosinning (DE)	(72) Erfinder: STEINICH, Klaus, Manfred 85604 Zorneding (DE) (74) Vertreter: Alber, Norbert et al Patent- und Rechtsanwälte Hansmann, Vogeser, Dr. Boecker, Alber, Dr. Strych, Liedl Albert-Rosshaupter-Strasse 65 81369 München 81369 München (DE)