(19)
(11) EP 1 741 141 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
10.01.2007  Patentblatt  2007/02

(21) Anmeldenummer: 05748159.0

(22) Anmeldetag:  22.04.2005
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 29/786(2006.01)
H01L 21/84(2006.01)
 H01L 27/12(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2005/000746
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2005/104238 (03.11.2005 Gazette  2005/44)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
DE FR GB

(30) Priorität: 27.04.2004 DE 102004020593

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81669 München (DE)

(72) Erfinder:
  • HOFMANN, Franz
    80995 München (DE)
  • LANDGRAF, Erhard
    81541 München (DE)
  • LUYKEN, Richard, Johannes
    81825 München (DE)

(74) Vertreter: Viering, Jentschura & Partner 
Steinsdorfstrasse 6
80538 München
80538 München (DE)

   


(54) FIN-FELDEFFEKTTRANSISTOR-ANORDNUNG UND VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER FIN-FELDEFFEKTTRANSISTOR-ANORDNUNG