(19)
(11) EP 1 743 047 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
17.01.2007  Patentblatt  2007/03

(21) Anmeldenummer: 05731108.6

(22) Anmeldetag:  09.04.2005
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 14/34(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2005/003757
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2005/106068 (10.11.2005 Gazette  2005/45)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 23.04.2004 DE 102004020404

(71) Anmelder: H.C. Starck GmbH & Co. KG
38642 Goslar (DE)

(72) Erfinder:
  • SCHOLL, Roland
    79733 Görwihl (DE)
  • MEYER, Bernd
    79725 Laufenburg (DE)
  • PASSING, Gerd
    50354 Hürth (DE)
  • WÖTTING, Gerhard
    96450 Coburg (DE)

(74) Vertreter: Feldhues, Michael L.F. 
c/o Bayer MaterialScience AG, Law & Patents-Patents and Licensing Gebäude Q 18
51368 Leverkusen
51368 Leverkusen (DE)

   


(54) TRÄGERPLATTE FÜR SPUTTERTARGETS