(19)
(11) EP 1 743 050 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
01.06.2006

(43) Veröffentlichungstag:
17.01.2007  Patentblatt  2007/03

(21) Anmeldenummer: 05736229.5

(22) Anmeldetag:  16.04.2005
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 14/56(2006.01)
 C23C 14/24(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2005/000702
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2005/106072 (10.11.2005 Gazette  2005/45)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 27.04.2004 DE 102004020842
27.08.2004 DE 102004041854

(71) Anmelder: VON ARDENNE ANLAGENTECHNIK GMBH
01324 Dresden (DE)

(72) Erfinder:
  • GOTTSMANN, Lutz
    01900 Kleinröhrsdorf (DE)
  • SEYFERT, Ulf
    01324 Dresden (DE)
  • WENZEL, Bernd-Dieter
    01909 Grosshartau (DE)
  • JÄGER, Reinhard
    01640 Coswig (DE)

(74) Vertreter: Adler, Peter 
Lippert, Stachow & Partner Krenkelstrasse 3
01309 Dresden
01309 Dresden (DE)

   


(54) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR THERMISCHEN VAKUUMBESCHICHTUNG