DISPOSITIF DE MESURE PAR INTERFEROMETRIE DE L'EPAISSEUR DE COUCHES TRANSPARENTES MINCES SUR UN SUBSTRAT EN DEFILEMENT - Patent 1749187

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EP 1 749 187 A1

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(43)	Date de publication:
	07.02.2007 Bulletin 2007/06

(21)	Numéro de dépôt: 05736131.3

(22)	Date de dépôt: 22.04.2005

(51)

Int. Cl.:

G01B 11/06^(2006.01)

(86)	Numéro de dépôt:
	PCT/EP2005/004320

(87)	Numéro de publication internationale:
	WO 2005/114098 (01.12.2005 Gazette 2005/48)

(84)	Etats contractants désignés:
	AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR

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Priorité:

06.05.2004 EP 04010795

(71)	Demandeur: Thomas, Edye
	1400 Yverdon-les-Bains (CH)

(72)	Inventeur:
	Thomas, Edye 1400 Yverdon-les-Bains (CH)

(74)	Mandataire: Surmely, Gérard
	ICB Ingénieurs Conseils en Brevets Rue des Sors 7 2074 Marin 2074 Marin (CH)

(54)	DISPOSITIF DE MESURE PAR INTERFEROMETRIE DE L'EPAISSEUR DE COUCHES TRANSPARENTES MINCES SUR UN SUBSTRAT EN DEFILEMENT