(19)

(11)

EP 1 749 242 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 07.02.2007  Patentblatt  2007/06 (21) Anmeldenummer: 05745591.7 (22) Anmeldetag:  24.05.2005

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  G03F 7/20(2006.01) G02B 7/02(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2005/005600 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2005/116773 (08.12.2005 Gazette  2005/49)

(84) Benannte Vertragsstaaten: DE NL (30) Priorität: 24.05.2004 DE 102004025832 (71) Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 73446 Oberkochen (DE)	(72) Erfinder: KUGLER, Jens 73540 Heubach (DE) SORG, Franz 73447 Oberkochen (DE) KWAN, Yim-Bun Patrick 73431 Aalen (DE) (74) Vertreter: Karlhuber, Mathias  COHAUSZ & FLORACK Patent- und Rechtsanwälte Bleichstrasse 14 40211 Düsseldorf 40211 Düsseldorf (DE)