(19)
(11)
EP 1 751 818 A1
(12)
(43)
Veröffentlichungstag:
14.02.2007
Patentblatt 2007/07
(21)
Anmeldenummer:
05754609.5
(22)
Anmeldetag:
27.05.2005
(51)
Internationale Patentklassifikation (IPC):
H01P
1/12
(2006.01)
(86)
Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2005/000966
(87)
Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2005/119831
(
15.12.2005
Gazette 2005/50)
(84)
Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR
(30)
Priorität:
01.06.2004
DE 102004026654
(71)
Anmelder:
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
80686 München (DE)
(72)
Erfinder:
LISEC, Thomas
25524 Itzehoe (DE)
HUTH, Christoph
25524 Itzehoe (DE)
(74)
Vertreter:
Gagel, Roland
Patentanwalt Dr. Roland Gagel, Landsberger Strasse 480a
81241 München
81241 München (DE)
(54)
MIKROMECHANISCHES HF-SCHALTELEMENT SOWIE VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG