(19)
(11) EP 1 751 818 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
14.02.2007  Patentblatt  2007/07

(21) Anmeldenummer: 05754609.5

(22) Anmeldetag:  27.05.2005
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01P 1/12(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2005/000966
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2005/119831 (15.12.2005 Gazette  2005/50)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 01.06.2004 DE 102004026654

(71) Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
80686 München (DE)

(72) Erfinder:
  • LISEC, Thomas
    25524 Itzehoe (DE)
  • HUTH, Christoph
    25524 Itzehoe (DE)

(74) Vertreter: Gagel, Roland 
Patentanwalt Dr. Roland Gagel, Landsberger Strasse 480a
81241 München
81241 München (DE)

   


(54) MIKROMECHANISCHES HF-SCHALTELEMENT SOWIE VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG