(19)

(11)

EP 1 754 111 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 21.02.2007  Patentblatt  2007/08 (21) Anmeldenummer: 05768800.4 (22) Anmeldetag:  02.06.2005

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  G03F 7/20(2006.01) G02B 5/30(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2005/005931 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2005/121900 (22.12.2005 Gazette  2005/51)

(84) Benannte Vertragsstaaten: DE NL (30) Priorität: 10.06.2004 US 578754 P (71) Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 73447 Oberkochen (DE)	(72) Erfinder: FIOLKA, Damian 73447 Oberkochen (DE) (74) Vertreter: Schwanhäusser, Gernot et al Ostertag & Partner Patentanwälte Epplestraße 14 D-70597 Stuttgart D-70597 Stuttgart (DE)