(19)
(11) EP 1 756 644 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
28.02.2007  Patentblatt  2007/09

(21) Anmeldenummer: 05748364.6

(22) Anmeldetag:  13.05.2005
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G02B 21/00(2006.01)
G01B 11/24(2006.01)
 G01N 21/64(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2005/005281
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2005/114290 (01.12.2005 Gazette  2005/48)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 17.05.2004 DE 102004024785

(71) Anmelder: Schott AG
55122 Mainz (DE)

(72) Erfinder:
  • STELZL, Michael
    55129 Mainz (DE)
  • SEIDEMANN, Volker
    10437 Berlin (DE)
  • LEIB, Jürgen
    85354 Freising (DE)
  • NGO, Ha-Duong
    10119 Berlin (DE)

(74) Vertreter: Herden, Andreas F. 
Blumbach - Zinngrebe Patentanwälte Alexandrastrasse 5
65187 Wiesbaden
65187 Wiesbaden (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR VERMESSUNG TOPOGRAPHISCHER STRUKTUREN AUF BAUELEMENTEN