......DE....FRGB..IT................................................................................JDIM360 Ver 2.15 (14 Jul 2008) - 2999001/01757665CORRECTED EUROPEAN PATENT SPECIFICATIONB8B120120411W172deBibliographieenBibliographyfrBibliographieEP06119461.9200608242007053120080811enenen200524289520050824JP2012041120121520070228200709201202222012082011080420120411201215C09G 1/02 20060101AFI20110629BHEP H01L 21/321 20060101ALI20110629BHEP H01L 21/768 20060101ALI20110629BHEP B24B 37/04 20120101ALI20110629BHEP deWässrige Dispersionsaufschlämmung für chemisch-mechanisches Polierverfahren, Kit zur Herstellung dieser Dispersionsaufschlämmung für ein chemisch-mechanisches Polierverfahren, und Verfahren zur Herstellung von HalbleitervorrichtungenenAqueous dispersion for chemical mechanical polishing, kit for preparing the aqueous dispersion for a chemical mechanical polishing process, and process for producing semiconductor devicesfrDispersion aqueuse pour le polissage mécano-chimique, kit pour la préparation de cette dispersion pour le polissage mécano-chimique, et procédé pour la fabrication de dispositifs semiconducteursWO-A-2005/047410US-A1- 2005 037 693Shida, Hirotakac/o JSR CORPORATION 9-2, Higashi-shinbashi 1-chome Minato-kuTokyo 1058640JPTakemura, Akihiroc/o JSR CORPORATION 9-2, Higashi-shinbashi 1-chome Minato-kuTokyo 1058640JPHattori, Masayuki 98-22, Nishimaeshinden, Uguiura-cho,Yatomi-shi AichiJPMinamihaba, Gakuc/o Toshiba Corporation Intellectual Property Division 1-1, Shibaura 1-chomeMinato-ku TokyoJPFukushima, Daic/o Toshiba Corporation Intellectual Property Division 1-1, Shibaura 1-chomeMinato-ku TokyoJPKurashima, Nobuyukic/o Toshiba Corporation Intellectual Property Division 1-1, Shibaura 1-chomeMinato-ku TokyoJPYamamoto, Susumuc/o Toshiba Corporation Intellectual Property Division 1-1, Shibaura 1-chomeMinato-ku TokyoJPTateyama, Yoshikunic/o Toshiba Corporation Intellectual Property Division 1-1, Shibaura 1-chomeMinato-ku TokyoJPYano, Hiroyukic/o Toshiba Corporation Intellectual Property Division 1-1, Shibaura 1-chomeMinato-ku TokyoJPJSR Corporation101121015EP491369-2, Higashi-shinbashi 1-chomeMinato-ku Tokyo 105-8640JPTBK100061560Bavariaring 4-680336 MünchenDEDEFRGBIT20070228200709