(19)

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EP 1 758 686 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 07.03.2007  Patentblatt  2007/10 (21) Anmeldenummer: 05753180.8 (22) Anmeldetag:  27.05.2005

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  B05D 7/22(2006.01) F16L 11/00(2006.01) C23C 14/04(2006.01) B05D 7/02(2006.01) F16L 9/147(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2005/005725 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2005/115640 (08.12.2005 Gazette  2005/49)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL BA HR LV MK YU (30) Priorität: 27.05.2004 DE 102004025919 (71) Anmelder: VERITAS AG 63571 Gelnhausen (DE) Applied Materials GmbH & Co. KG 63755 Alzenau (DE)	(72) Erfinder: VAN HOOREN, Marc 63579 Bernbach (DE) SEVERENGIZ, Tevfik 63571 Gelnhausen (DE) NAUMANN, Volker 63619 Bad Orb (DE) (74) Vertreter: Grünecker, Kinkeldey, Stockmair & Schwanhäusser Anwaltssozietät  Maximilianstrasse 58 80538 München 80538 München (DE)