(19)

(11)

EP 1 759 036 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 07.03.2007  Patentblatt  2007/10 (21) Anmeldenummer: 05744763.3 (22) Anmeldetag:  06.05.2005

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C23C 14/35(2006.01) H01J 37/34(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/IB2005/001655 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2006/000862 (05.01.2006 Gazette  2006/01)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR (30) Priorität: 24.06.2004 EP 04405394 (71) Anmelder: METAPLAS IONON Oberflächenveredelungstechnik GmbH D-51427 Bergisch Gladbach (DE)	(72) Erfinder: VETTER, Jörg 51469 Bergisch Gladbach (DE) (74) Vertreter: Sulzer Management AG  Patentabteilung / 0067, Zürcherstrasse 12 8401 Winterthur 8401 Winterthur (CH)