(19)

(11)

EP 1 759 246 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 13.04.2006 (43) Veröffentlichungstag: 07.03.2007  Patentblatt  2007/10 (21) Anmeldenummer: 05770246.6 (22) Anmeldetag:  22.06.2005

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  G03F 7/00(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2005/006768 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2005/124456 (29.12.2005 Gazette  2005/52)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR (30) Priorität: 22.06.2004 DE 102004030019 (71) Anmelder: Xetos AG 82064 Strasslach (DE)	(72) Erfinder: KNOCKE, Frank 85560 Ebersberg (DE) (74) Vertreter: Beckmann, Claus  Kraus & Weisert Patent- und Rechtsanwälte Thomas-Wimmer-Ring 15 80539 München 80539 München (DE)