(19)
(11) EP 1 759 406 A1

(12)

(43) Date de publication:
07.03.2007  Bulletin  2007/10

(21) Numéro de dépôt: 05778242.7

(22) Date de dépôt:  20.06.2005
(51) Int. Cl.: 
H01L 21/285(2006.01)
H01L 21/04(2006.01)
(86) Numéro de dépôt:
PCT/FR2005/050469
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2006/005869 (19.01.2006 Gazette  2006/03)
(84) Etats contractants désignés:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorité: 21.06.2004 FR 0406751

(71) Demandeurs:
  • COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
    75015 Paris (FR)
  • UNIVERSITE PARIS-SUD (PARIS XI)
    91405 Orsay Cédex (FR)

(72) Inventeurs:
  • RADTKE, Claudio
    CEP 90660-060 Porto Alegre - RS (BR)
  • SILLY, Mathieu
    F-28240 SAINT VICTOR DE BUTHON (FR)
  • SOUKIASSIAN, Patrick
    F-78470 SAINT REMY LES CHEVREUSE (FR)
  • ENRIQUEZ, Hanna
    F-75013 PARIS (FR)

(74) Mandataire: Poulin, Gérard et al
Brevatome 3, rue du Docteur Lancereaux
75008 Paris
75008 Paris (FR)

   


(54) PROCEDE DE METALLISATION DE LA SURFACE PREALABLEMENT PASSIVEE D'UN MATERIAU SEMICONDUCTEUR ET MATERIAU OBTENU PAR CE PROCEDE