(19)
(11) EP 1 760 760 A3

(12) EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG

(88) Veröffentlichungstag A3:
09.07.2008  Patentblatt  2008/28

(43) Veröffentlichungstag A2:
07.03.2007  Patentblatt  2007/10

(21) Anmeldenummer: 06016388.8

(22) Anmeldetag:  05.08.2006
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01J 35/14(2006.01)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL BA HR MK RS

(30) Priorität: 03.09.2005 DE 102005041923

(71) Anmelder: COMET GmbH
30827 Garbsen (DE)

(72) Erfinder:
  • Reinhold, Alfred
    31515 Wunstorf (DE)

(74) Vertreter: Braitmayer, Sven-Erik 
DTS Patentanwälte Rechtsanwälte Sankt-Anna-Strasse 15
80538 München
80538 München (DE)

   


(54) Vorrichtung zur Erzeugung von Röntgen- oder XUV-Strahlung


(57) Eine erfindungsgemäße Vorrichtung 2 zur Erzeugung von Röntgen- oder XUV-Strahlung weist Mittel zum Richten eines Teilchenstrahles 12 elektrisch geladener Teilchen auf ein Target 16 auf. Erfindungsgemäß sind Ablenkmittel zum Ablenken des Teilchenstrahles 12 derart, daß die Zentralachse 18 des Teilchenstrahles 12 durch einen ersten Ablenkpunkt 20 und einen zu dem ersten Ablenkpunkt 20 in Strahlrichtung beabstandeten zweiten Ablenkpunkt 22 verläuft, wobei der erste und der zweite Ablenkpunkt 20, 22 in Achse mit einem vorgebenen oder vorgebbaren Auftreffpunkt 24 des Teilchenstrahles 12 auf dem Target 16 liegen und wobei der Teilchenstrahl durch die Ablenkmittel in Strahlrichtung im Bereich eines Ablenkpunktes 20, 22 unabhängig von einer Ablenkung des Teilchenstrahles 12 im Bereich des anderen Ablenkpunktes 22, 20 ablenkbar ist.







Recherchenbericht