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(11) | EP 1 760 760 A3 |
(12) | EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG |
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(54) | Vorrichtung zur Erzeugung von Röntgen- oder XUV-Strahlung |
(57) Eine erfindungsgemäße Vorrichtung 2 zur Erzeugung von Röntgen- oder XUV-Strahlung
weist Mittel zum Richten eines Teilchenstrahles 12 elektrisch geladener Teilchen auf
ein Target 16 auf. Erfindungsgemäß sind Ablenkmittel zum Ablenken des Teilchenstrahles
12 derart, daß die Zentralachse 18 des Teilchenstrahles 12 durch einen ersten Ablenkpunkt
20 und einen zu dem ersten Ablenkpunkt 20 in Strahlrichtung beabstandeten zweiten
Ablenkpunkt 22 verläuft, wobei der erste und der zweite Ablenkpunkt 20, 22 in Achse
mit einem vorgebenen oder vorgebbaren Auftreffpunkt 24 des Teilchenstrahles 12 auf
dem Target 16 liegen und wobei der Teilchenstrahl durch die Ablenkmittel in Strahlrichtung
im Bereich eines Ablenkpunktes 20, 22 unabhängig von einer Ablenkung des Teilchenstrahles
12 im Bereich des anderen Ablenkpunktes 22, 20 ablenkbar ist.
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