(19)
(11) EP 1 761 942 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
14.03.2007  Patentblatt  2007/11

(21) Anmeldenummer: 05756963.4

(22) Anmeldetag:  10.06.2005
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01J 37/32(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2005/006245
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2005/124820 (29.12.2005 Gazette  2005/52)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 18.06.2004 DE 102004030344

(71) Anmelder: Carl Zeiss Vision GmbH
73430 Aalen (DE)

(72) Erfinder:
  • NEUFFER, Andreas
    71679 Asperg (DE)
  • HOLZ, Lothar
    73432 Aalen (DE)

(74) Vertreter: Witte, Alexander et al
Witte, Weller & Partner, Patentanwälte, Postfach 105462
70047 Stuttgart
70047 Stuttgart (DE)

   


(54) VORRICHTUNG ZUM BESCHICHTEN OPTISCHER GLÄSER MITTELS PLASMAUNTERSTÜTZTER CHEMISCHER DAMPFABSCHEIDUNG (CVD)