(19)

(11)

EP 1 763 660 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 21.03.2007  Patentblatt  2007/12 (21) Anmeldenummer: 05762091.6 (22) Anmeldetag:  05.07.2005

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  G01L 9/16(2006.01) G01L 1/12(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2005/007262 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2006/002988 (12.01.2006 Gazette  2006/02)

(84) Benannte Vertragsstaaten: DE FR GB IT (30) Priorität: 05.07.2004 DE 102004032484 (71) Anmelder: Infineon Technologies AG 81669 München (DE)	(72) Erfinder: ZIMMER, Jürgen 85521 Ottobrunn (DE) SCHMITT, Stephan 86916 Kaufering (DE) RÜHRIG, Manfred 90542 Eckental (DE) (74) Vertreter: Zinkler, Franz et al Schoppe, Zimmermann, Stöckeler & Zinkler Postfach 246 82043 Pullach bei München 82043 Pullach bei München (DE)