(19)

(11)

EP 1 766 676 A1

(12)

(43) Date de publication: 28.03.2007  Bulletin  2007/13 (21) Numéro de dépôt: 05775231.3 (22) Date de dépôt:  02.06.2005

(51) Int. Cl.:  H01L 21/762(2006.01) C30B 29/36(2006.01) C30B 33/00(2006.01) C30B 29/40(2006.01) (86) Numéro de dépôt: PCT/FR2005/001353 (87) Numéro de publication internationale: WO 2006/000691 (05.01.2006 Gazette  2006/01)

(84) Etats contractants désignés: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR (30) Priorité: 03.06.2004 FR 0405992 (71) Demandeur: S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies 38190 Bernin (FR)	(72) Inventeurs: FAURE, Bruce F-38000 GRENOBLE (FR) LAHRECHE, Hacene F-75014 PARIS (FR) (74) Mandataire: Desormiere, Pierre-Louis et al Cabinet Beau de Loménie, 158, rue de l'Université 75340 Paris Cedex 07 75340 Paris Cedex 07 (FR)