(19)

(11)

EP 1 766 687 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 28.03.2007  Patentblatt  2007/13 (21) Anmeldenummer: 05759586.0 (22) Anmeldetag:  10.06.2005

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 29/739(2006.01) H01L 29/06(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE2005/001036 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2005/122271 (22.12.2005 Gazette  2005/51)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR (30) Priorität: 11.06.2004 DE 102004028474 (71) Anmelder: X-FAB Semiconductor Foundries AG 99097 Erfurt (DE)	(72) Erfinder: LERNER, Ralf 99085 Erfurt (DE) (74) Vertreter: Leonhard, Frank Reimund et al Leonhard - Olgemöller - Fricke, Postfach 10 09 62 80083 München 80083 München (DE)