(19)
(11) EP 1 767 068 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
03.08.2006

(43) Veröffentlichungstag:
28.03.2007  Patentblatt  2007/13

(21) Anmeldenummer: 05753782.1

(22) Anmeldetag:  08.06.2005
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H05H 1/24(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2005/001015
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2005/125286 (29.12.2005 Gazette  2005/52)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
BE DE DK GB IE NL

(30) Priorität: 16.06.2004 DE 102004029081

(71) Anmelder: JE PlasmaConsult GmbH
42119 Wuppertal (DE)

(72) Erfinder:
  • ENGEMANN, Jürgen
    42119 Wuppertal (DE)
  • KORZEC, Darius
    42781 Haan (DE)
  • TESCHKE, Markus
    40233 Düsseldorf (DE)

(74) Vertreter: Ostriga, Sonnet, Wirths & Roche 
Stresemannstrasse 6-8
42275 Wuppertal
42275 Wuppertal (DE)

   


(54) VORRICHTUNG ZUR BEARBEITUNG EINES SUBSTRATES MITTELS MINDESTENS EINES PLASMA-JETS