(19)
(11) EP 1 769 229 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
04.04.2007  Patentblatt  2007/14

(21) Anmeldenummer: 05772604.4

(22) Anmeldetag:  18.07.2005
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G01N 21/21(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2005/007795
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2006/008112 (26.01.2006 Gazette  2006/04)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 21.07.2004 US 590282 P

(71) Anmelder: OC Oerlikon Balzers AG
9496 Balzers (LI)

(72) Erfinder:
  • WIKI, Max
    CH-1024 Ecublens (CH)
  • EDLINGER, Johannes
    A-6800 Feldkirch (AT)
  • VAUPEL, Matthias
    37081 Göttingen (DE)
  • EING, Andreas
    37083 Göttingen (DE)

(74) Vertreter: Kempkens, Anke 
Vordere Mühlgasse 187
D-86899 Landsberg
D-86899 Landsberg (DE)

   


(54) ELLIPSOMETRIEVORRICHTUNG MIT EINER RESONANZPLATTFORM