(19)
(11) EP 1 771 600 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
20.04.2006

(43) Veröffentlichungstag:
11.04.2007  Patentblatt  2007/15

(21) Anmeldenummer: 05773105.1

(22) Anmeldetag:  08.07.2005
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 16/515(2006.01)
C23C 14/50(2006.01)
 C23C 14/34(2006.01)
C23C 16/458(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2005/007418
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2006/010451 (02.02.2006 Gazette  2006/05)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 26.07.2004 DE 102004036170

(71) Anmelder: Schott AG
55122 Mainz (DE)

(72) Erfinder:
  • WALTHER, Marten
    31061 Afeld (DE)
  • KÄLBER, Tobias
    55116 Mainz (DE)
  • BAUER, Stefan
    55232 Alzey (DE)
  • BAUCH, Hartmut
    61276 Weilrod-Winden (DE)
  • GERBAN, Jörn
    55257 Budenheim (DE)

(74) Vertreter: Herden, Andreas F. et al
Blumbach - Zinngrebe Patentanwälte Alexandrastrasse 5
65187 Wiesbaden
65187 Wiesbaden (DE)

   


(54) VAKUUMBESCHICHTUNGSANLAGE UND VERFAHREN ZUR VAKUUMBESCHICHTUNG