(19)
(11) EP 1 773 734 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
18.04.2007  Patentblatt  2007/16

(21) Anmeldenummer: 05757258.8

(22) Anmeldetag:  09.06.2005
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C04B 41/50(2006.01)
C23C 16/34(2006.01)
C23C 16/02(2006.01)
C23C 14/06(2006.01)
 C23C 16/32(2006.01)
C23C 16/36(2006.01)
C23C 14/02(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2005/006188
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2005/121047 (22.12.2005 Gazette  2005/51)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 09.06.2004 DE 102004028112

(71) Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
80686 München (DE)

(72) Erfinder:
  • KEUNECKE, Martin
    38116 Braunschweig (DE)
  • BEWILOGUA, Klaus
    38110 Braunschweig (DE)

(74) Vertreter: Pfenning, Meinig & Partner GbR 
Patent- und Rechtsanwälte Theresienhöhe 13
80339 München
80339 München (DE)

   


(54) BORHALTIGES SCHICHTSYSTEM, BESTEHEND AUS EINER BORCARBID-, EINER B-C-N UND EINER KOHLENSTOFFMODIFIZIERTEN KUBISCHEN BORNITRIDSCHICHT SOWIE VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES SOLCHEN SCHICHTSYSTEMS