(19)

(11)

EP 1 774 055 A2

(12)

(88) Date de publication A3: 01.06.2006 (43) Date de publication: 18.04.2007  Bulletin  2007/16 (21) Numéro de dépôt: 05777129.7 (22) Date de dépôt:  14.06.2005

(51) Int. Cl.:  C23C 14/48(2006.01) C23C 8/36(2006.01) H01J 37/32(2006.01) (86) Numéro de dépôt: PCT/FR2005/001468 (87) Numéro de publication internationale: WO 2006/003322 (12.01.2006 Gazette  2006/02)

(84) Etats contractants désignés: AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU MC NL PL PT RO SE SI SK TR (30) Priorité: 16.06.2004 FR 0406496 (71) Demandeur: Ion Beam Services 13790 Peynier (FR)	(72) Inventeurs: TORREGROSA Frank F-13109 Simiane (FR) MATHIEU Gilles F-13007 Marseille (FR) ROUX Laurent F-13013 Marseille (FR) (74) Mandataire: Renaud-Goud, Thierry  Renaud-Goud Conseil, 5, rue de Montigny 13100 Aix-en-Provence 13100 Aix-en-Provence (FR)