(19)
(11) EP 1 778 889 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
02.05.2007  Patentblatt  2007/18

(21) Anmeldenummer: 05759851.8

(22) Anmeldetag:  14.07.2005
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 14/56(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2005/007652
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2006/008060 (26.01.2006 Gazette  2006/04)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IS IT LI LT LU LV MC NL PL PT RO SE SI SK TR

(30) Priorität: 21.07.2004 DE 102004035335

(71) Anmelder: Schott AG
55122 Mainz (DE)

(72) Erfinder:
  • MUND, Dietrich
    84101 Obersüssbach (DE)
  • FUKAREK, Wolfgang
    01477 Fischbach bei Arnsdorf (DE)
  • LEIB, Jürgen
    85354 Freising (DE)

(74) Vertreter: Herden, Andreas F. et al
Blumbach - Zinngrebe Patentanwälte Alexandrastrasse 5
65187 Wiesbaden
65187 Wiesbaden (DE)

   


(54) REINRAUMFÄHIGE BESCHICHTUNGSANLAGE